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北京怀柔实验室 2023年第二批科研设备采购项目

· 2023-06-18

项目名称:北京怀柔实验室 2023年第二批科研设备采购项目

招标项目编号:1495-234thhrlab02/11

招标范围:产品名称:LPCVD设备 数量:1 简要技术规格:LPCVD设备是一种半导体芯片加工设备,数量1台,包含4根炉

管,具体规格如下: 1)在硅片表面沉积多晶硅(poly),厚度500nm~1000nm 2)在硅片表面沉积氧化硅(TEOS),厚度

100nm~2000nm 3)在硅片表面沉积氮化硅(Si3N4),厚度50nm~500nm 4)在硅片表面沉积氧化硅(LTO),厚度

50nm~1000nm

招标机构:天恒招标有限公司

招标人:北京怀柔实验室

开标时间:2023-06-14 09:30

公示开始时间:2023-06-18 16:18

评标公示截止时间:2023-06-21 23:59

中标候选人名单:无中标人

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